P R O D U C T S
300-305nm激光器
基于高功率、低噪声光纤放大以及和频与倍频技术，实现波长在300-305nm范围内任意一个中心波长的高功率窄线宽激光输出。
特点
- 窄线宽：<40kHz
- 低强度噪声
- 高功率
- 主动功率稳定：<0.75% rms，3hrs
- 优异的光束质量（M² <1.3）
- 永不跳模
- 耐高低温、震动的工作环境
应用
- 干涉曝光
- 晶圆量测
- 精密测量
主要参数
|
光学参数 |
||||||
|
型号 |
FL-SF-XX-YY（1）-CW |
|||||
|
常用中心波长 |
302nm |
|||||
|
输出功率 |
0.1W |
0.5W |
1W |
2W |
4W(即将推出） |
|
|
线宽（2）（100us积分时间） |
＜60kHz |
|||||
|
监控光输出功率@604nm |
>5mW |
|||||
|
调谐范围（连续无跳模） |
>300GHz |
|||||
|
PZT调谐范围 |
>6GHz |
|||||
|
PZT调谐带宽 |
>5kHz |
|||||
|
电流调谐范围 |
>1GHz |
|||||
|
电流调谐带宽 |
>1MHz |
|||||
|
功率稳定性（3 小时 RMS） |
＜1% |
|||||
|
输出模式 |
空间准直输出,直径0.8mm-1.2mm |
|||||
|
偏振消光比 |
＞20dB，线偏振 |
|||||
|
光束质量 |
TEM00，M²＜1.3 |
|||||
|
冷却方式 |
风冷 |
水冷 |
||||
(1)XX：激光波长，XX：激光功率，单位W，例如输出功率1W的302nm激光器： FL-SF-302-1-CW,
(2)光纤延迟自外差拍频法测量
|
选件 |
|
|
宽调谐选件 |
通过更换宽调谐的种子激光器，实现±0.5nm@302nm宽调谐 |
|
其他参数 |
||
|
冷却方式 |
风冷 |
水冷 |
|
工作温度 |
15-30℃（无凝露条件下） |
15-35℃（无凝露条件下） |
|
供电 |
100V-240V, AC, 50/60Hz |
|
更高功率，更多波长，可定制方案
