P R O D U C T S
266nm激光器
Precilasers公司基于单频种子激光器、光纤激光放大和高效变频技术，可提供266nm窄线宽激光器，最大输出功率1W，具有频率稳定性高、寿命长、光束质量优等特点。
特点
- 高功率
- 窄线宽
- 优异的光束质量
- 永不跳模
- 长寿命
应用
- 精密测量
- 半导体检测
主要参数
|
参数
|
|||||||
|
型号
|
FL-SF-266-X-CW
|
||||||
|
中心波长
|
266.00nm
|
||||||
|
线宽(100 us 积分时间)
|
<50kHz
|
||||||
|
工作模式
|
连续激光输出
|
||||||
|
输出功率
|
>30mW
|
>100mW
|
>500mW
|
>1W
|
|||
|
光斑直径
|
1±0.15 mm
|
||||||
|
光斑束腰位置（相对输出窗口）
|
输出窗口±0.5m内
|
||||||
|
发散角 (全角)
|
<0.5urad
|
||||||
|
椭圆度
|
>90%
|
||||||
|
指向稳定性
|
<50urad @30min, RMS
|
||||||
|
光束质量
|
TEM00，M²<1.3
|
||||||
|
偏振
|
线偏振, 竖直±3°, >20dB
|
||||||
|
功率稳定性
|
<1% @3hours, RMS
|
||||||
|
相对强度噪声
|
<0.2%(RMS, 10Hz-10MHz 积分)
|
||||||
|
冷却方式
|
风冷/水冷
|
水冷
|
|||||
|
预热时间
|
|||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
冷启动
|
<2 小时
|
||||||
|
热启动
|
<15 分钟
|
||||||
|
尺寸和重量
|
|||||||
|
激光控制器尺寸
|
≤460mm x 420mm x 133mm（30mW,100mW）
|
≤483mm x 304mm x 133mm(500mW,1W)
|
|||||
|
激光头尺寸
|
≤390mm x 310mm x 130mm（30mW,100mW）
|
≤300mm x 530mm x 139mm（500mW,1W）
|
|||||
|
水冷机尺寸
|
≤58cm x 29cm x 52cm
|
||||||
|
激光头重量
|
≤20kg
|
≤25kg
|
|||||
|
激光控制器重量
|
≤25kg
|
||||||
|
水冷机重量
|
≤25kg
|
||||||
|
激光头和控制器之间的线缆长度
|
不可拆卸光纤长度>1.5m
|
可拆卸线缆长度＞5米
|
|||||
|
使用环境和供电功耗
|
|||||||
|
工作温度（无凝露条件下）
|
15-30 ℃（风冷）
|
15-35 ℃（水冷）
|
|||||
|
供电
|
100V-240V, AC, 50/60Hz
|
||||||
|
功耗
|
<120W
|
<120W
|
<130W
|
<140W
|
|||
|
通信
|
RS422
|
||||||
更高功率，更多波长，可定制方案
