P R O D U C T S
190nm激光器
基于单频种子激光器、光纤激光放大以及高效率的频率转换技术,频准激光可以提供窄线宽的190nm的窄线宽连续激光器,同时具有高频率稳定度,长寿命以及优异的光束质量。
特点
- 窄线宽
- 优异的光束质量
- 永不跳模
- 连续激光
应用
- 精密测量
主要参数
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参数
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型号
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FL-SF-190-X(1)-CW
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中心波长
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190nm
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线宽(2) (100 us 积分时间)
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<100kHz
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工作模式
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连续激光输出
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输出功率
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>3mW
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>10mW
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光斑直径
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1±0.1 mm
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1.1±0.1mm
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光斑束腰位置(相对输出窗口) (m)
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输出窗口±1m内
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发散角 (全角)
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<0.4mrad
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椭圆度
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90%
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指向稳定性
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<50urad @30min, RMS
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光束质量
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TEM00,M²<1.5
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偏振
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线偏振, >20dB
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功率稳定性
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<1% @2hours, RMS
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相对强度噪声
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<0.5%(RMS, 10Hz-10MHz 积分)
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冷却方式
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水冷
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预热时间
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冷启动
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<2 小时
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热启动
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<30 分钟
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尺寸和重量
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激光控制器尺寸
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≤483mm x 420mm x 133mm
(3mW)
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激光头尺寸
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≤550mm x 350mm x 131mm
(3mW)
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水冷机尺寸
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≤58cm x 29cm x 52cm
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激光头重量
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≤30kg
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激光控制器重量
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≤30kg
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水冷机重量
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≤25kg
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激光头和控制器之间的线缆长度
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光纤长度>10m
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使用环境和供电功耗
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工作温度(无凝露条件下)
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15-35 ℃
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供电
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100V-240V, AC, 50/60Hz
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功耗
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<400W
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通信
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RS422
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选件
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稳频选件
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波长稳定性<±10fm@24h
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气泵选件
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提供气泵
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(1)X激光功率,单位W,例如输出功率3mW: FL-SF-190-0.003-CW.
(2)光纤延迟自外差拍频法测量