P R O D U C T S
313nm激光器
基于单频种子激光器、光纤激光放大以及高效率的频率转换技术，频准激光可以提供窄线宽的313-325nm激光器，最大输出为2W，同时具有高频率稳定度，长寿命以及优异的光束质量。
特点
- 窄线宽
- 高功率
- 优异的光束质量
- 永不跳模
应用
- 精密测量
- 晶圆量测
- 干涉曝光
主要参数
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参数
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型号
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FL-SF-X-Y-CW
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中心波长
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313nm-325nm中心波长可定制
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线宽(100 us 积分时间)
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<40kHz
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工作模式
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连续激光输出
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输出功率
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>300mW
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>1W
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>2W
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光斑直径
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1±0.15 mm
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光斑束腰位置（相对输出窗口）
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输出窗口±0.5m内
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发散角 (全角)
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<0.6mrad
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椭圆度
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>90%
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指向稳定性 (峰峰值)
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<50μrad@3h
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光束质量
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TEM00，M²<1.2
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偏振
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线偏振, 竖直±3°, >20dB
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功率稳定性
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<0.75% @3hours, RMS
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相对强度噪声
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<0.2%(RMS, 10Hz-10MHz 积分)
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冷却方式
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水冷
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预热时间
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冷启动
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<2 小时
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热启动
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<15 分钟
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尺寸和重量
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激光控制器尺寸
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≤483mm x 520mm x 132mm
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激光头尺寸
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≤390mm x 310mm x 130mm
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水冷机尺寸
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≤58cm x 29cm x 52cm
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激光头重量
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≤18kg
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激光控制器重量
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≤20kg
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水冷机重量
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≤25kg
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激光头和控制器之间的线缆长度
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不可拆卸光纤长度>1.5m
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使用环境和供电功耗
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工作温度（无凝露条件下）
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15-35 ℃（水冷）
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供电
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100V-240V, AC, 50/60Hz
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功耗
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<170W
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<200W
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<240W
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通信
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RS422
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更高功率，更多波长，可定制方案
