P R O D U C T S
非单频高功率绿光激光器
基于非单频种子激光器、光纤激光放大以及高效率的频率转换技术，频准激光可以提供非单频的532nm激光器，最大输出为40W，长寿命以及优异的光束质量。
特点
- 长寿命
- 高功率
- 优异的光束质量
- 永不跳模
应用
- 晶圆检测
- 干涉曝光
主要参数
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参数 |
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型号 |
FL-NSF-532-X(1)-CW |
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中心波长 |
532.00nm |
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线宽(2) |
40GHz±1GHz |
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工作模式 |
连续激光输出 |
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输出功率 |
>10W |
>20W |
>40W |
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光斑直径 |
0.8±0.2 mm |
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光斑束腰位置（相对输出窗口） |
输出窗口±0.3m内 |
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发散角 (全角) |
<0.9mrad |
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椭圆度 |
0.9-1.1 |
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指向稳定性 |
<5μrad |
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光束质量 |
TEM00，M²<1.1 |
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偏振 |
线偏振, 竖直±3°, >23dB |
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功率稳定性 |
<0.75% @3hours, RMS |
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相对强度噪声 |
<0.1%(RMS, 10Hz-10MHz 积分) |
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冷却方式 |
风冷 |
水冷 |
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预热时间 |
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冷启动 |
<1 小时 |
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热启动 |
<30 分钟 |
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尺寸和重量 |
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激光头尺寸 |
≤358mm x 90mm x 70mm |
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激光控制器尺寸 |
≤483mm x 420mm x 133mm |
≤483mm x 422mm x 105mm |
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使用环境和供电功耗 |
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工作温度 |
15-30 ℃ |
15-35 ℃ |
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供电 |
100V-240V, AC, 50/60Hz |
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通信 |
RS422 |
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(1) X 为激光功率，单位W，例如40W的532nm非单频激光器型号为： FL-NSF-532-40-CW
(2) 线宽可定制
更高功率，更多波长，可定制方案
